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+86-769-26628231 13751273557中国是化学大国,为何制造芯片的光刻胶仍依赖于进口?
- 来源:东莞市易能供应链有限公司
- 发布日期:2022-03-28
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- 所属栏目:常见问题
中国是化学大国,为何制造芯片的光刻胶仍依赖于进口?光刻胶是一种利用光、热等改变其溶解性的抗腐蚀物质,能够将模板上的图案直接传输到基板上,从而构成精细的电子线路。光刻胶主要包括感光剂、感光树脂、溶剂和助剂等,而感光剂又是影响光刻胶性质的重要组分。
按照使用范围,可将光刻胶划分为半导体光刻胶、液晶显示器光刻胶以及印刷电路板光刻胶,而半导体光刻胶按照暴露波长和加工条件,可将光刻胶划分为 G/i线、 KrF线、 ArF线以及 EUV线,且其技术门槛是逐级提高的。现在世界上最高水平的 EUV光刻胶,只有日本的 JSR公司、东京应化公司、信越化工公司才有能力大量生产,并且这些公司的成本非常高。

中国是世界上最大的化工大国,化工原材料、化工技术人员众多,但是在抗蚀剂方面,仍然存在着严重的滞后和严重的依赖。造成这种局面的原因有两个:
一是具有较高的技术困难和较低的 R& D投资。由于其制备工艺中原材料种类繁多,反应条件复杂,对生产工艺要求较高,对产品品质要求较高。同时,由于光刻胶的尺寸日益减小,对其性能的需求也在增加,因此,为了满足各种暴露波段及加工条件的需求,必须研发出适合于各种暴露波段及加工环境的新型敏化剂及树脂。要做到这一点,就必须要有庞大的研究与开发资金,并经过漫长的时间累积。然而,当前中国在该方面的研究与开发投资却十分有限,且多聚焦在低端 G/i、 KrF等,对于 ArF、 EUV等高端光刻胶上尚处在实验研究阶段。
二是这是一个很小的和不具竞争力的市场。中国在芯片生产上与世界其他国家相比存在一定差距,因此,我国对于光刻胶的需求很少,而且其发展前景也不明朗。再加上目前我国的半导体厂商,对于本土化的支撑力度不够,对于进口产品的依赖程度太高,价格敏感性较差,使得我国的光刻胶很难开拓出一片新的天地。而在国际上,由于国际上已出现了垄断或者寡头垄断的局面,使得我国的半导体光刻面临着严峻的挑战。

由于技术难度大,研发投入少,市场规模小,竞争力差等因素,导致我国目前仍依靠进口。要改变这个现状,就必须从这两个角度入手!
事实上,国家及有关部门,已经推出一系列的政策,来扶持本土公司,增加他们在光刻胶方面的投资,以及在其他方面的发展。与此同时,一大群有能力、有眼光的本土公司,正在全国范围内,为我国在光刻材料方面的研究与开发提供有力的技术支持。当前,在印刷电路板光刻胶中,国内生产的湿膜型胶片占50%;在液晶显示用抗蚀剂方面,目前国内对彩色抗蚀剂和黑抗蚀剂的替代率约为5%;在半导体光刻胶方面, G/i线型光刻胶已进入量产阶段, KrF型光刻胶已进入量产阶段, ArF型光刻胶也已进入量产阶段,预计将进入量产阶段。

尽管我国的光刻胶产品与国外相比还有很大的距离,但是,我们可以预见,在未来的几年里,中国将会成为世界上最先进的光刻材料生产国,并对我国的半导体工业起到重要的支持作用。

中国目前仍严重依赖于国外,这是一个由来已久、很难扭转的事实,想要取得突破性进展,还需多方共同的努力与扶持。然而,伴随着我们国内半导体工业的迅速发展,以及我们国家的战略性需要,我认为中国将会在这一方面取得更多的进展,并作出更多的努力。
